全部產(chǎn)品
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- 不同的半導體器件對半導體材料有不同的形態(tài)要求,包括單晶的切片、磨 片、拋光片、薄膜等。半導體材料的不同形態(tài)要求對應不同的加工工藝。常用的半導 體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長。
所有的半導體材料都需要對原料進行提純,要求的純度在 6 個“9”以上 ,最高達 11 個“9”以上。提純的方法分兩大類,一類是不改變材料的化學組成進行提純,稱為 物理提純; 另一類是把元素先變成化合物進行提純, 再將提純后的化合物還原成元素, 稱為化學提純。物理提純的方法有真空蒸發(fā)、區(qū)域精制、拉晶提純等,使用最多的是 區(qū)域精制?;瘜W提純的主要方法有電解、絡合、萃取、精餾等,使用最多的是精餾。 由于每一種方法都有一定的局限性,因此常使用幾種提純方法相結合的工藝流程以獲 得合格的材料。
- 絕大多數(shù)半導體器件是在單晶片或以單晶片為襯底的外延片上作出的。成批量的 半導體單晶都是用熔體生長法制成的。直拉法應用最廣,80%的硅單晶、大部分鍺單 晶和銻化銦單晶是用此法生產(chǎn)的,其中硅單晶的最大直徑已達 300 毫米。在熔體中 通入磁場的直拉法稱為磁控拉晶法,用此法已生產(chǎn)出高均勻性硅單晶。在坩堝熔體表 面加入液體覆蓋劑稱液封直拉法,用此法拉制砷化鎵、磷化鎵、磷化銦等分解壓較大 的單晶。懸浮區(qū)熔法的熔體不與容器接觸,用此法生長高純硅單晶。水平區(qū)熔法用以 生產(chǎn)鍺單晶。水平定向結晶法主要用于制備砷化鎵單晶,而垂直定向結晶法用于制備 碲化鎘、砷化鎵。用各種方法生產(chǎn)的體單晶再經(jīng)過晶體定向、滾磨、作參考面、切片、 磨片、倒角、拋光、腐蝕、清洗、檢測、封裝等全部或部分工序以提供相應的晶片。
- 硅在當前的應用相當廣泛,他不僅是半導體集成電路,半導體器件和硅太陽能電池的基礎材料,而且用半導體制作的電子器件和產(chǎn)品已經(jīng)大范圍的進入到人們的生活,人們的家用電器中所用到的電子器件80%以上與案件都離不開硅材料。鍺是稀有元素,地殼中的含量較少,由于鍺的特有性質(zhì),使得它的應用主要集中與制作各種二極管,三極管等。而以鍺制作的其他錢江如探測器,也具有著許多的優(yōu)點,廣泛的應用于多個領域。有機半導體材料具有熱激活電導率,如萘蒽,聚丙烯和聚二乙烯苯以及堿金屬和蒽的絡合物,有機半導體材料可分為有機物,聚合物和給體受體絡合物三類。有機半導體芯片等產(chǎn)品的生產(chǎn)能力差,但是擁有加工處理方便,結實耐用,成本低廉,耐磨耐用等特性。
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非晶半導體按鍵合力的性質(zhì)分為共價鍵非晶半導體和離子鍵非晶半導體兩類,可用液相快冷方法和真空蒸汽或濺射的方法制備。在工業(yè)上,非晶半導體材料主要用于制備像傳感器,太陽能鋰電池薄膜晶體管等非晶體半導體器件。
化合物半導體材料種類繁多,按元素在周期表族來分類,分為三五族,二六族,四四族等。如今化合物半導體材料已經(jīng)在太陽能電池,光電器件,超高速器件,微波等領域占據(jù)重要位置,且不同種類具有不同的應用??傊?/span>半導體材料的發(fā)展迅速,應用廣泛,隨著時間的推移和技術的發(fā)展,半導體材料的應用將更加重要和關鍵,半導體技術和半導體材料的發(fā)展也將走向更高端的市場。